Книга "Руководство пользователя по вакуумной технологии" (A User's Guide to Vacuum Technology) была издана в третий раз спустя 15 лет после выхода второго издания. За это время произошло много важных изменений в области вакуумной технологии, включая появление спиннинг-роторных манометров, сухих механических насосов, турбомолекулярных насосов на магнитной подвеске и ультрачистых систем. Благодаря этому, улучшенным методам очистки и сборки стало возможным создание производства без загрязнений. Книга направлена на заполнение пробелов в знаниях и обучении между разработчиками и конечными пользователями вакуумного оборудования. Она предлагает практическую перспективу современной вакуумной технологии, с акцентом на эксплуатации, понимании и выборе оборудования для промышленных процессов, используемых в полупроводниковой, оптической, упаковочной и смежных технологиях нанесения покрытий. Книга предоставляет детальное описание этой важной области, подчеркивая основы и затрагивая значимые темы, которые недостаточно освещены в других источниках, избегая тем, которые не являются релевантными для типичного пользователя.
#научно-популярная литература
