Книга "Микроэлектромеханика" представляет собой пособие, которое поможет читателю понять физические процессы, происходящие в микроэлектромеханических системах (МЭМС). В книге рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, а также эффекты масштабирования и демпфирования в этих системах. Описаны основные виды МЭМС - электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, приводятся примеры и задачи для самостоятельного решения. Книга предназначена для студентов, магистрантов и аспирантов, изучающих микросистемную технику и МЭМС, а также может быть полезна студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, которые хотят расширить и систематизировать свои знания в области микроэлектромеханики.
#учебники и пособия для вузов
