Книга "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия" содержит подробное описание физических принципов и экспериментальных методов сканирующей зондовой микроскопии. В ней рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Книга предназначена для студентов, изучающих направление 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" и дисциплины, связанные с методами анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем, экспериментальными методами исследования и метрологии, методами исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов, методами диагностики и анализа микро- и наносистем, а также для студентов, изучающих направление 210100 "Микроэлектроника и наноэлектроника" и дисциплину "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур".
Пособие предназначено для студентов, изучающих методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов. Книга содержит подробное описание методов сканирующей микроскопии и их применения в современной науке и технологии. В книге рассматриваются физические основы и экспериментальная техника, а также применение этих методов в различных областях науки и техники.
Книга предназначена для студентов, которые изучают нанотехнологии, микроэлектронику и другие направления, связанные с исследованием микроэлектронных и наноэлектронных систем.
Книга содержит подробные описания физических основ, а также экспериментальных методов сканирования зондовых микроскопов. Она предназначена для обучения студентов научных и отраслевых направлений, таких как: Нанотехнологии и Микросистемная Техника, Микроэлектроника и Наноэлектроника. Учебное пособие пригодиться студентам, которые занимаются исследовательской деятельностью в нанотехнологиях и микросистемах, проводят диагностику и анализ микро и наносистем.
#учебники и пособия для вузов
