Данная книга посвящена методу определения толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников с помощью инфракрасной Фурье-спектрометрии. В работе кратко описаны теоретические основы механизмов поглощения и отражения инфракрасного излучения в полупроводниках. Приведено подробное описание инфракрасного Фурье-спектрометра Nicolet 6700, на котором проводились эксперименты. Описана методика измерения спектральных зависимостей коэффициентов поглощения и отражения образцов, а также последующая обработка полученных экспериментальных данных. По результатам анализа спектров рассчитываются толщина эпитаксиального слоя и ширина запрещенной зоны полупроводника. В конце приведен список рекомендуемой литературы по теме и контрольные вопросы для самопроверки. Книга будет полезна специалистам в области физики полупроводников.
Предлагаемая монография А. Величко посвящена разработке метода инфракрасной Фурье - спектрометрии для определения толщины эпитаксиальиых слоев и контроля ширины запрещенной щели полупроводниковых гетероструктур. Для подготовки специалистов, использующих приборную базу ИК - фурьеспек-трометров, а также в учебных целях для студентов специализирующихся по физике полупроводников,.
Книга посвящена методам ИК-спектроскопии для анализа эпитаксиальных структур на примере полупроводниковых гетероструктур. Описаны математические методы анализа спектров поглощения. Особое внимание уделено формулировке задач, рассмотрению полученных результатов и методик их обработки. Рассмотрен вопрос о ИК-Фурье-спектрометрe Nicolet 6200.
#учебники и пособия для вузов
