Учебное пособие "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2" содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методик исследования наноматериалов и наноструктур. В книге детально рассматриваются такие методы, как электронная спектроскопия, различные виды микроскопии, а также методы изучения электрофизических свойств нанообъектов. Особое внимание уделено практическому применению данных методов в современной науке и технологиях.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям "Нанотехнологии и микросистемная техника" и "Микроэлектроника и наноэлектроника". Оно будет полезно при изучении таких дисциплин, как "Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем", "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем" и других специальных курсов.
Во второй части учебного пособия подробно излагаются физические основы и экспериментальная техника методов электронной спектроскопим, микроскопиим и методов исследовании электрофизическом параметров материалов и наноструктур. Приводятся примеры их применения в современном мире. Предназначено для студентов направлений "Нанатехнологии и микроситемовая техника" и "Микроэлектроникаи наноэлектроника".
#учебники и пособия для вузов
