В книге “Лазеры в микро и наноэлектронике” автор А.В. Палий рассматривает основы лазерных технологий и их применение в микро- и наноэлектронике, а также физические параметры лазерного излучения. Учебное пособие предназначено для магистров и специалистов в области лазерной технологии, а также может быть полезно для студентов, изучающих микро- и нанотехнологию. В книге рассматриваются характеристики и параметры различных типов лазерного излучения, а также особенности лазерных технологических процессов. Пособие содержит информацию о физических основах лазерной технологии и ее применении в микроэлектронике.
В учебном пособии обобщены сведения в области лазеров, применяемых при разработке новых материалов и приборов, оптическом контроле их качества, при управлении производственными процессами микро-- и нанотехнологии важнейших секторов экономики - электронике, информационных технологиях, фотонике и космической технике.
#учебники и пособия для вузов
#приборостроение
#электроника
