Данная книга является учебником для студентов бакалавриата и магистратуры, изучающих проектирование и технологию электронных устройств, радиоэлектронных средств и электронных приборов. Она посвящена технологическим процессам, применяемым в производстве различных элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры, таких как электронные проборы, полупроводниковые и гибридные микросхемы, микроэлектромеханические системы, антенные устройства, функциональные и защитные покрытия и другие. В книге подробно описываются ионно-плазменные технологии, используемые в производстве этих устройств, а также технологическое оборудование и оснастка, необходимые для их создания. Книга может быть полезна не только студентам, изучающим радиотехнику, но и специалистам в этой области.
В книге А.С.Сигова “Основы конструирования и технологии производства радиоэлектроники” рассматриваются различные аспекты производства элементов и устройств РЭА, где основным инструментом являются ионно-плазменные процессы и ускоренные ионы. В ней рассмотрены все необходимые технологические процессы, оборудование и оснастка для производства РЭА. Книга будет полезна студентам инженерных специальностей, а также специалистам в области радиоэлектроники.
В учебнике "Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии" рассматриваются современные технологические процессы с использованием ионно-плазменных потоков и пучков ионов при производстве компонентов радиоэлектронной аппаратуры.
В книге подробно описаны технологии изготовления электронных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенн, функциональных и защитных покрытий с применением ионно-плазменных технологий.
Значительное внимание уделено оборудованию для генерирования, ускорения и управления ионно-плазменными потоками, а также технологической оснастке.
Учебник предназначен для студентов технических специальностей, в частности "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Электронные приборы". Материал будет полезен студентам других радиотехнических специальностей и специалистам в области радиоэлектроники.
#учебники и пособия для вузов
#радиотехника
