Практикум посвящен выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления. В нем изложены основы теории данного метода, описана необходимая аппаратура и методики напыления и анализа полученных пленок.
Цель практикума - научить студентов теоретическим знаниям и практическим навыкам по получению монокристаллических пленок с помощью магнетронного распыления. В процессе выполнения лабораторных работ студенты изучают теорию роста кристаллических пленок магнетронным методом, осваивают подбор материалов и подложек, учатся работать на установке магнетронного напыления, выращивать пленки и анализировать их структуру и свойства.
Практикум предназначен для студентов-магистров по направлению "Материаловедение и технология материалов" по программе "Кристаллы квантовой и оптической электроники". Он позволяет получить теоретическую базу и практические навыки по методу выращивания кристаллических пленок магнетронным напылением.
Книга предназначена для преподавания в университете студентам специальностей, которые связаны с наукоемким производством. Она позволит студентам не только быть подготовленными к выполнению исследовательской работы, но и самостоятельно проводить исследования в лабораторных условиях.
Электронная Книга «Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления. Лабораторный практикум» написана автором В. С. Петраков в 2017 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от В. С. Петраков
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».
