Книга "Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники" является обобщением результатов исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов для производства изделий электроники. Она охватывает широкий спектр технологий, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком и СВЧ-плазмохимической обработки, до магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Книга предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Описаны и обобщены исследования по созданию и работе станций современных корпусов интегрирования производственных процессов электронных устройств, включающих технологию очищения основания, субмиллиметрового волнового плазмохимического воздействия, формирования магнетроном и лучом электронной и импульсной микроструктуры и их толщины используя высокочастотный локальный нагрев, метод диффузной сварки и интегрированный контроль микронных и наномух структур.
Электронная Книга «Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники» написана автором А. П. Достанко в 2016 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-985-08-1993-2
Описание книги от А. П. Достанко
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
