Книга "Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом" содержит подробное описание расчетов взаимодействия между ускоренными ионами и твердым телом. В книге обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионов при взаимодействии с атомами и электронами материалов, используемых в электронной технике. Рассмотрены типовые источники ионов, применяемые в технологии электроники, а также проанализированы области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
В данном пособии описываются методы расчета взаимодействия ускоренных до высоких энергий ионов с веществом. Дается подробное изложение закономерно стей упругого и неупругого рассеяния ионов при столкновениях с атомами твердого тела и электронами проводимости. Излагаются основные принципы физических процессов в облучаемых материалах электронной техники, микроэлектроники, устройств твердотельной электроники. Описаны системы и источники ионов, используемые в технологии микроени-кроэлектроники. Уделяется внимание физике формирования поверхностных свойств материалов технологии вследствии облучения, а также разъясняются проблемы радиационной дефекто-образования и радиационного контроля элементов микроэлектронных устройств.
Электронная Книга «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом» написана автором Геннадий Кузнецов в 2005 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Геннадий Кузнецов
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
