В данной книге рассматриваются фундаментальные принципы технологических процессов выращивания полупроводниковых материалов и методы контроля качества в рамках курса "Основы технологии электронной компонентной базы". Книга предназначена для студентов направления "Электроника и наноэлектроника", обучающихся на уровне бакалавриата, магистратуры и инженеров. Она будет полезна при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных проектов, связанных с моделированием технологических процессов получения тонкопленочных материалов. В книге подробно описываются теоретические основы роста полупроводниковых пленок и нанесения тонких пленок, а также методы контроля параметров пленочных структур.
Настоящее пособие предназначено для получения научных и практических знаний студентами специальности 21.03.02 (ИНиГ) "Нанотехнология" при выполнении проектных и научно-исследовательских работ и направлено на развитие навыков работы с современными САПР и информационными технологиями моделирования технологических процессов при получении тонкопленошных материалов и контроле.
Электронная Книга «Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов» написана автором Дмитрий Крутогин в 2012 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Дмитрий Крутогин
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
