Книга "Микроэлектромеханика" представляет собой пособие, которое поможет читателю понять физические процессы, происходящие в микроэлектромеханических системах (МЭМС). В книге рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, а также эффекты масштабирования и демпфирования в этих системах. Описаны основные виды МЭМС - электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, приводятся примеры и задачи для самостоятельного решения. Книга предназначена для студентов, магистрантов и аспирантов, изучающих микросистемную технику и МЭМС, а также может быть полезна студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, которые хотят расширить и систематизировать свои знания в области микроэлектромеханики.
Электронная Книга «Микроэлектромеханика» написана автором Д. И. Остертак в 2016 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-7782-2901-3
Описание книги от Д. И. Остертак
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.
