Книга «Ионно-фотонная обработка материалов» Станислава Константинова представляет собой описание различных процессов, связанных с взаимодействием ионных и фотонных пучков с материальными объектами. Автор рассматривает вопросы формирования и отжига кристаллов, образования заданной формы распределения ле гиру ющих атомов, а также применения этой техники обработки
Изложены современные представления об ионосфере и физике фотонных пучков и тканей, рассмотрены этапы формирования и отвердевания дефектов композита, установление заявленных профилей обогащения атомами легирования. Приведен каталог используемых в настоящее время технологии, предназначенных для ионогенных и фосфоресцирующих обработок материалов, а кроме того для определения свойств облученных слоями.
Книга представляет собой изложение современных представлений о физических явлениях, наблюдающихся при облучении твердых тел ионными пучками: дефектообразовании, дефектоаннигиляции в идеальных кристаллах, изменении фазового состава и структурно-фазовых превращениях. Дано детальное описание современного оборудования, применяемого для ионного приповерхностного модифицирования материалов: установок ионно-лучевого распыления, пучковых ускорителей ионов, генераторов атомных смещений, имплантаторов. Рассмотрено применение таких установок в различных технологиях современной электронной промышленности. . . Для студентов, специализирующихся в области физики полупроводников, физики конденсированных сред и физической электроники. Представляет интерес для широкого круга специалистов-практиков по электронной технологии.
Электронная Книга «Ионная и фотонная обработка материалов» написана автором Станислав Константинов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-985-06-3395-8
Описание книги от Станислав Константинов
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
