Книга "Химические технологии в производстве микрометрических систем" авторства Ю.А. Родионова посвящена изучению основных положений общей и физической химической технологий в процессе производства интегральных печатных плат и микроэлектромеханических систем (МЭМС).
В центре внимания данной книги находятся химические процессы в массовом выпуске мини-нанок
Подробно изложены вопросы химии в технологиях изготовления интегральных схем и МЭМС-устройств. Особое внимание уделено рассмотрению химических процессов при серийном изготовлении микро- и наносистемных компонентов, используемым материалам, оборудованию и технологическим методам, применяемым в этих процессах. Приведены конкретные технологические методы химической обработки и нанесения микро-и субмикронных слоев, технология поверхностного монтажа, изготовления внешних контактных устройств, а также технологических процессов, используемых при ремонте и контролировании качества МЭМС. Рассматривается междисциплинарная интеграция химических технологий с микроэлектротехникой, лазерной техникой и материаловедением.
Электронная Книга «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов» написана автором Ю. А. Родионов в 2023 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-507-46956-7
Описание книги от Ю. А. Родионов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
