Эта книга описывает инновационные технологии микро-и нанообработки материалов. Автор Игорь Житянин сосредотачивает внимание читателя на ключевых технологических процессах, которые способствуют получению материалов с уникальными свойствами. В данном пособии рассматриваются режимы обработки и процессы выращивания поликремниевого и аморфного слоев. Обсуждаются методы отжига, легирования и отжига полупроводниковых материалов, включая формирование новой контактометаллической схемы, планаризацию и формирование диэлектрических плёнок. Пособие можно использовать для подготовки специалистов в области нанотехнологий и микросистемной техники, конструирования электронных устройств и электроники. Книга подойдет магистрантам, планирующим карьеру в этих областях.
В пособии рассматриваются фотонно-стимулируемые взаимодействия потоков света с различными полупроводниковыми материалами, разработаны режимы обработок и технологические процессы: отжиг и рекристаллизация кремниевых слоев, легирование полупроводниковых материалов, получение контактно-металлузиционных систем, процесса планаризации и получения диэлектрических тонких пленок и т.п. Пособие может быть полезно при изучении технологий наносистемной техники.
В пособии рассматриваются фундаментальные вопросы эволюции света в полупроводниках, фотонно стимулированные режимы формирования наногетероструктур, отжиг и легирование полупроводников, поверхностная обработка полупроводников и технология изготовления структур приборы и т.д. для магистров направлений: "нанотехнологии и микросистемотехника", "конструирование и технологическая подготовка электронных устройств". Книга может представлять интерес для исследователей и преподавателей вузов.
Электронная Книга «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии» написана автором Игорь Житяев в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 9785927523955
Описание книги от Игорь Житяев
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
