Физические процессы в полупроводниках при облучении быстрыми частицами. Теория и расчет - В. Н. Мурашев (2001г.)

Книга "Физические процессы в полупроводниках при облучении быстрыми частицами. Теория и расчет" посвящена изучению радиационных процессов в полупроводниках, которые возникают при облучении быстрыми частицами. Особый интерес в книге представляет процесс смещения атомов из узлов кристаллической решетки, который является основным фактором, определяющим концентрацию и свойства радиационных центров (РЦ) - вторичных радиационных дефектов, образующихся в результате взаимодействия компонент пар Френкеля с имеющимися до облучения точечными дефектами. РЦ, которые стабильны во времени и по температуре, действуют в полупроводнике подобно донорам, акцепторам или рекомбинационным примесям, что позволяет управлять основными электрофизическими и геометрическими характеристиками активных областей неоднородной структуры и изменять в широком диапазоне параметры ППП или ИС в конце цикла их изготовления. Книга представляет собой теоретическое исследование и содержит расчеты и описания физических процессов, связанных с радиационными процессами в полупроводниках.

В монографии с позиций радиационной технологий микроэлектроники исследуются процессы смещения атомов в кристаллической решетке полупроводника под воздействием быстрых частиц

анализируются особенности влияния облучения быстрыми электронами, протонами и ионами на смещение атомов, исследуется роль каналирования, а также рассчитываются коэффициенты вторичного радиационного ущерба и значения основных радиационных пороговых энергий для донорных и акцепторных ат

омов, с количественной точки зрения описывается образование и стабильное поведение радиационных комплексов, выявленных при сдвиге атомов.

Электронная Книга «Физические процессы в полупроводниках при облучении быстрыми частицами. Теория и расчет» написана автором В. Н. Мурашев в 2001 году.

Минимальный возраст читателя: 0

Язык: Русский


Описание книги от В. Н. Мурашев

С позиций радиационной технологии микроэлектроники процесс смещения атомов из узлов кристаллической решетки наиболее интересен, поскольку именно он в первую очередь определяет концентрацию и свойства вторичных радиационных дефектов – радиационных центров (РЦ), образующихся в результате последующего взаимодействия компонент пар Френкеля с имеющимися до облучения точечными дефектами. Стабильные во времени и по температуре РЦ действуют в полупроводнике подобно донорам, акцепторам или рекомбинационным примесям, что позволяет управлять основными электрофизическими и даже геометрическими характеристиками активных областей неоднородной структуры и изменять в широком диапазоне параметры ППП или ИС в конце цикла их изготовления



Похожие книги

Информация о книге