Привет, беспокойные умы.
Сегодня речь пойдет об установке магнетронного напыления, полностью спроектированной и изготовленной нами.
Для начала кратко попытаюсь ответить, зачем нужны такие установки и что такое ионно-плазменное распыление.
Мишенью является распыляемый материал.
Субстрат – это то, на что происходит распыление.
Установки такого типа позволяют формировать на подложках тончайшие слои проводящих материалов (преимущественно металлов).
В качестве подложек могут использоваться как проводящие, так и диэлектрические материалы.
А для того, чтобы образовался нанослой, например, из любого металла на подложке, необходимо сначала тщательно атаковать металл плазмообразующими ионами, для этого используют зажигание плазмы тлеющего разряда при пониженном давлении и магнетрон как ловушка для электронов.
Давайте рассмотрим простейшую схему магнетрона и ее работу, и вы поймете, почему это ловушка (попробую не слишком научно, но думаю, что многие будут против, так как некоторые моменты без этого объяснить невозможно, но я попытаюсь).
Классический тлеющий разряд зажигается постоянным током, и ток течет от анода к катоду.
Катод представляет собой плоскую мишень, под которой находится кольцевой магнит. Ээлектроны, вылетающие из катода, ионизируют газ в объеме, ионы которого попадают в мишень, атомы выбиваются из нее и снова сталкиваются с электронами, тем самым ионизируя часть из них.
В общем, электронная лавина - это Образуется , который закручивается магнитным полем и не позволяет им улетать после столкновений, тем самым магнит удерживает электроны и в то же время увеличивает образование атомов, которые осаждаются на подложке, образуя тем самым пленку.
А теперь от теории к практике.
Поскольку я занимаюсь различными плазмохимическими технологиями при атмосферном давлении, через некоторое время меня заинтересовало пониженное давление.
У меня уже был источник питания тлеющего разряда; Я сделал это очень давно.
А после покупки вакуумного насоса начались эксперименты, которые выявили некоторые трудности при работе с пониженным давлением.
Подводя итог этой части статьи, можно сказать, что работа продвигается вперед, приобретается значительный опыт и дополнительные знания.
На данный момент корпус железа готов, его предстоит покрасить, после чего начнется сборка.
Я не намеренно раздувал статью, так как многие вопросы освещены в видеороликах, а если нет, то я постараюсь ответить на все в комментариях.
Теги: #Наука #Компьютерная техника #Сделай сам или Сделай сам #физика #магнетронное распыление #ионно-плазменное #тлеющий разряд #напыление металлов
-
Растущий Спрос На Смешные Картинки В Сети
19 Oct, 24 -
Взлом Разъема Для Наушников
19 Oct, 24
